康宁(CORNING)ULE 7973超低膨胀玻璃/ULE7973

产品描述

康宁7973/Corning 7973是一种二氧化钛硅酸盐低膨胀玻璃，是专门为满足EUVL应用对掩模和光学基板的需求而设计。7973具有与ULE 7972玻璃相似的成分，并且使用相同的火焰沉积工艺制造。从193nm到13.4nm的光刻转变要求步进光学从折射型到反射型的重大设计转变。在反射光学中，衬底材料应该是纯被动的，因此入射光应从光学元件和光掩模的多层涂层反射出去，而不引起由底层基底引起的任何机械或光学变形。为了使由微小温度变化而引起的变形最小化并满足严格的EUVL规范要求，基板必须具有接近零的热膨胀系数（CTE）和严格控制的零交叉范围，所以极低的热膨胀系数要求以十亿分之一摄氏度（ppb/C）表示。

产品名称：康宁ULE 7973超低膨胀玻璃

产品关键词：

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光学属性，热力学属性，以及机械属性和化学属性：

见图中所示英文表或下载相关附件

主要应用： 液晶电视、电脑显示器

笔记本电脑玻璃基板

移动排放控制系统用陶瓷载体和过滤器

通信网络用光纤、光缆、硬件和设备

用于药物开发的光学生物传感器

半导体、航空航天、国防、天文学和计量学中的光学

我们提供：

康宁(Corning)7973毛坯件大料

康宁(Corning)7973粗加工坯件

康宁(Corning)7973坯件的进一步加工服务，包括切割，成型，抛光，研磨，钻孔，取芯，倒边，倒角，3D巡边，激光雕刻与打标，单面抛光，双面抛光，环抛，离子束抛光加工，磁流变抛光加工，轻量化，沉孔，数控机加工，开槽，真空镀膜，蒸发镀膜，清洗，计量与测量，胶合，光学装配等。

现货坯件最大尺寸：1700mm(D)*170mm(H)

最大坯件加工尺寸：2000mm(L)*2000mm(W)*600mm(H)

材料等级：

EUV Grades

EUV Mask A Grade

Premium

Mirror

Standard

Tooling

主要优势

1）康宁7973是一种二氧化钛硅酸盐低膨胀玻璃；

2）康宁7973具有与ULE 7972玻璃相似的成分，并且使用相同的火焰沉积工艺制造；

3）接近零的热膨胀系数（CTE）和严格控制的零交叉范围，极低的热膨胀系数 ；

4）专门为满足EUVL应用对掩模和光学基板的需求而设计。